無油螺桿真空泵的吹掃功能包括清洗、冷卻、密封。蒸汽吹掃用于清洗，適用于一些含有機物、聚合物、油脂等介質的抽氣環境，防止這些物質在泵腔內積聚。可能很多用戶都遇到過這樣的情況，停機前設備運行一切正常，停機一段時間后重新開機就會出現無法啟動、電機過載等問題。其中一種可能就是抽氣介質環境含有上面說的一些東西，停機后沒有進行清理，從而導致污物冷卻積聚引起卡死等問題。因此在停機前通入蒸汽吹掃，可以很好的解決這個問題。

無油螺桿真空泵具體的吹掃流程也比較簡單：

首先是關閉無油螺桿真空泵的進氣口閥門，并打開排氣閥門；然后通過蒸汽入口（珂勒曦無油螺桿真空泵的蒸汽吹掃入口設置在進氣口處），通入表壓1Kg/cm2左右的蒸汽并根據介質的實際情況持續1～10分鐘；蒸汽通入結束后，轉動聯軸器，看轉子的轉動是否順暢；如果真空泵的轉動順暢，就可以結束吹掃過程，并啟動電機，看是否運轉正常，并在無負載的情況下讓真空泵運行10～20分鐘，繼續排出殘留的蒸汽；如果盤動過程不是很順暢，這時就不要啟動電機，繼續反復通入蒸氣，直至盤動過程變得順暢，再啟動電機進入最后的吹掃過程。

另外，對于一些停機后久未啟動過的無油螺桿真空泵，為確保運行安全，必要時也可以在啟動前進行蒸氣吹掃作業，防止強行啟動而出現一些問題。