干式螺桿真空泵的排氣端是整個泵體溫度較高地方，因此除了夾套水冷卻外，必要時還會通過冷卻吹掃來進一步降低該處的溫度。

干式螺桿真空泵運行過程中，隨著轉子的轉動與齒間容積的變化，氣體由進氣端不斷向排氣端運動。無論是變螺距的干式螺桿真空泵還是等螺距的，都會在出口處完成最終的氣體輸送壓縮。因此在泵的排氣端會積聚大量的熱能，溫度相較于其他部位就會更高。如果溫度過高對被抽介質或者工藝，甚至轉子、泵體有影響，單獨的夾套水冷已經無法滿足要求，就可以在干式螺桿真空泵的排氣端附近設置冷卻吹掃入口，直接在排氣端附近通入冷卻氣體來對內部進行進一步冷卻。

如果常規的過濾空氣無法滿足要求，可以使用冷卻氣體與熱交換器來提高冷卻效果。

如果被抽介質有被污染的風險，則可以使用氮氣等惰性氣體進行冷卻。

此外，對于一些含粉塵的氣體以及可能會凝結的氣體，冷卻吹掃還可以降低可凝氣體的分壓防止凝結，以及減少顆粒物在排氣端的積聚。