羅茨鼓風機在真空抽氣機組中常作為機械增壓泵使用，也是低真空抽氣機組中常用的主泵。那它的性能指標一般看哪些呢？

首先是極限壓力、抽速、漏率。所有羅茨鼓風機產品的主要性能指標都包括極限壓力、抽氣速率，因此這些性能指標都很好理解。但對于羅茨真空泵來說，它的極限壓力不僅與自身的工藝性能參數有關（包括它本身的漏率），同時還受前級泵性能的影響。

其次是羅茨鼓風機的零流量壓縮比。關于羅茨鼓風機的零流量壓縮比，零流量壓縮比越大，代表泵的泄漏返流越少；而壓縮比小則表示泄漏返流嚴重。這個性能指標可以反映羅茨鼓風機廠家在產品型線設計、轉子間隙控制、生產裝配工藝等方面的實力水平。同時它也與泵的轉速和氣體種類有關。

第三是羅茨鼓風機的最大容許壓差。羅茨鼓風機的最大容許壓差是指其入口壓力等于或低于1kPa時，連續運轉1小時不發生故障所允許的出口壓力和入口壓力差值的最大值。實際上就是看羅茨泵在最大消耗功率和高溫下能否無故障運轉，可以反映羅茨泵的軸、轉子、軸承和齒輪強度，轉子、齒輪與軸之間聯接的可靠性，以及高溫下羅茨泵的各部分間隙是否能保證正常運轉。容許的壓差越大、泵溫越高，真空泵的就越可靠。